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物联网软件开发公司 AMHS系统开拓助力半导体制造高效运转


发布日期:2024-09-14 14:43    点击次数:183


中国网7月13日讯 据悉,近日泛半导体智能制造合座料理决策供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司(以下简称“合肥欣奕华”)已完成12inch半导体自动物料搬送系统AMHS(Automatic Material Handling System)的开拓和Demo系统运营,并通过了时期规格考据。

芯片制造对工艺和环境条目很高——先进的12inch半导体工场需要无尘洁净的环境,对系数工场运营的自动化、智能化进度条目很高,这使得奈何提高系数洁净工场的空间愚弄率、减少机台的闲置时候、提高坐蓐成果和居品良率成为其最爱护的问题。12inch半导体制造工场的AMHS系统由多种硬件诞生(OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等)和软件系统(MCS、OCS、STKC等)构成。AMHS系统不错在洁净环境中竣事复杂工艺间的无东说念主自动搬送,提高运营成果的同期确保品性和良率。因此AMHS系统是12inch先进工艺晶圆厂大限度量产,提高坐蓐成果的优先选拔。跟着行业时期发展,AMHS也将被大限度应用于12inch硅片制造、芯片制造、先进封装等各式半导体制造工序中。

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合肥欣奕华AMHS系统的搬送成果、晶圆保护、行为精度等各项性能见地均达到海外先进水平,况且领有特有的旅途搜索算法专利,具备大限度车辆智能调换才气。其中自主研发的高速OHT居品,时期规格和相信性达到业界最初水平,不错在最高320m/min的高速行驶下妥贴开动,同期高速行驶的振动数据、移载速率、Vehicle间防冲撞规矩等时期见地并排业界顶尖供应商。合肥欣奕华OHT最大负载15公斤,不错对应多种制造工序的居品,况且具备单LOOP内同期规矩200台Vehicle的配车才气。

“咱们打造了占大地积400平米,额外百米轨说念的庞大AMHS Demo系统,居品具备先进的时期和快速迭代才气。OHT和Stocker的Demo为了考据复杂系统的相信性和时期见地,OHT盘算推算了多种复杂轨说念环境,物联网软件定制开发多少钱包括直轨、转弯、不合合流部等,进一步还相配盘算推算并考据歪斜轨说念爬坡功能、双层轨说念、轨说念自清洁功能以及搬送中的晶圆盒后盖很是及时侦测功能等。咱们还对中枢部品无线供电系统进行了冗余化盘算推算,对软件系统的办事器进行自动切换的双机热备盘算推算,大大增多了系统的相信性。软件方面,OCS规矩系统和MCS系统使用新式软件架构,救济海量大数据的快速网罗和分析,救济不休机更新,其系统具备及时数据料理与统计、状态3D重现、Vehicle预约、FDC监控、旅途霸术算法的动态更新等翻新功能。”合肥欣奕华AMHS居品进展东说念主先容到,“客户很关注咱们在大限度量产制造下系统对应才气,为此咱们挑升搭建了Digital Twin(数字孪生)平台,不但能加速居品盘算推算迭代的速率,还能构建与客户工场交流的数字化诬捏工场,模拟诞生、系统和信得过坐蓐制造的环境,从而考据超大限度规矩才气。咱们提供了一个高相信性、高效的12inch晶圆AMHS系统的合座料理决策。”据了解物联网软件开发公司,开拓团队领有终点15年AMHS从业磨真金不怕火,深远表现半导体AMHS居品应用及居品时期,现在已肯求专利和软著二十多项。